发明名称 MANUFACTURE OF SEMICONDUCTOR DEVICE
摘要
申请公布号 JPH0352240(A) 申请公布日期 1991.03.06
申请号 JP19890187949 申请日期 1989.07.20
申请人 SUMITOMO ELECTRIC IND LTD 发明人 OTOBE KENJI;NAKAJIMA SHIGERU;GOTO NOBORU;NISHIGUCHI KATSUNORI
分类号 H01L29/812;H01L21/338;H01L29/78 主分类号 H01L29/812
代理机构 代理人
主权项
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