发明名称 Method for fabricating structures on a substrate.
摘要 Bei einem Verfahren zum Herstellen von Strukturen (3), wie beispielsweise Leiterbahnen, Widerstands- oder dielektrischen Strukturen, auf einem Substrat (1) wird auf das Substrat eine photosensitive Schicht (2) aufgebracht und diese mit einer Maske strukturiert. Danach werden die entsprechenden Vertiefungen (6) durch Entwickeln freigelegt und sodann mit einer Paste (4) aufgefüllt. Die photosensitive Schicht um die aufgefüllten Vertiefungen herum wird entfernt, so daß nur die Paste in Form der Struktur auf dem Substrat stehen bleibt.
申请公布号 EP0415085(A2) 申请公布日期 1991.03.06
申请号 EP19900114418 申请日期 1990.07.27
申请人 ROBERT BOSCH GMBH 发明人 GROTHE, BRIGITTE;GRUENWALD, WERNER, DR. DIPL.-PHYS.;SCHMID, KURT
分类号 H01L21/48;H05K1/09;H05K3/12 主分类号 H01L21/48
代理机构 代理人
主权项
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