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发明名称 METHOD AND APPARATUS FOR TAPERED ETCHING
摘要
申请公布号 EP0405848(A3) 申请公布日期 1991.03.06
申请号 EP19900306832 申请日期 1990.06.22
申请人 AMERICAN TELEPHONE AND TELEGRAPH COMPANY 发明人 BREDBENNER, CRAIG N.;GINIECKI, TROY A.;SELAMOGLU, NUR;STOCKER, HANS J.
分类号 H01L21/302;C23F4/00;H01L21/02;H01L21/3065;H01L21/3205;H01L21/3213;(IPC1-7):H01L21/306;H01L21/321 主分类号 H01L21/302
代理机构 代理人
主权项
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