发明名称 PROBE TERMINAL STRUCTURE FOR TESTING GLASS SUBSTRATE AND TEST METHOD USING THE SAME
摘要
申请公布号 JPH0351768(A) 申请公布日期 1991.03.06
申请号 JP19890184662 申请日期 1989.07.19
申请人 HITACHI LTD 发明人 UENO ISAO;OWADA JUNICHI
分类号 G01R1/073;G01R31/02 主分类号 G01R1/073
代理机构 代理人
主权项
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