| 发明名称 |
PLANARIZED HETEROSTRUCTURES AND METHOD |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
EP0352471(A3) |
申请公布日期 |
1991.03.06 |
| 申请号 |
EP19890111209 |
申请日期 |
1989.06.20 |
| 申请人 |
TEXAS INSTRUMENTS INCORPORATED |
发明人 |
SHICHIJO, HISASHI |
| 分类号 |
H01L21/302;H01L21/20;H01L21/31;H01L21/338;H01L29/812;(IPC1-7):H01L21/20;H01L21/304 |
主分类号 |
H01L21/302 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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