Method of making an inverted staggered active matrix for display panel.

摘要

Procédé de réalisation d'une paroi pour écran d'affichage à matrice active. Par une première gravure, on forme des lignes d'empilement de couches (L) avec à la base un métal. On comble les intervalles entre lignes par un polyimide négatif. Sur la surface, on grave des colonnes (C) et des pavés (P). Ces éléments servent de masque pour une gravure laissant des transistors de commande dans une configuration grille dessous. Application à la réalisation d'écrans d'affichage à cristaux liquides.