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发明名称 POLYCRYSTAL SILICON RECRYSTALLIZATION
摘要
申请公布号 JPH0350720(A) 申请公布日期 1991.03.05
申请号 JP19890185373 申请日期 1989.07.18
申请人 SEIKO EPSON CORP 发明人 HASHIZUME TSUTOMU
分类号 H01L21/20;H01L21/263;H01L21/336;H01L21/84;H01L29/78;H01L29/786 主分类号 H01L21/20
代理机构 代理人
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