| 发明名称 |
MANUFACTURE OF SEMICONDUCTOR INTEGRATED CIRCUIT |
| 摘要 |
|
| 申请公布号 |
JPH0350864(A) |
申请公布日期 |
1991.03.05 |
| 申请号 |
JP19890186789 |
申请日期 |
1989.07.19 |
| 申请人 |
SANYO ELECTRIC CO LTD |
发明人 |
TAKEDA KAZUO;TABATA TERUO;SANO YOSHIAKI |
| 分类号 |
H01L29/73;H01L21/331;H01L21/8222;H01L27/06;H01L29/732 |
主分类号 |
H01L29/73 |
| 代理机构 |
|
代理人 |
|
| 主权项 |
|
| 地址 |
|
