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发明名称 MANUFACTURE OF SILICON DIAPHRAGM
摘要
申请公布号 JPH0350774(A) 申请公布日期 1991.03.05
申请号 JP19890185394 申请日期 1989.07.18
申请人 YOKOGAWA ELECTRIC CORP 发明人 YAMAGATA MICHIAKI;SUZUKI HIROSHI
分类号 G01L9/04;G01L9/00;H01L29/84 主分类号 G01L9/04
代理机构 代理人
主权项
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