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发明名称
Capacitive semiconductive sensor with hinged diaphragm for planar movement
摘要
申请公布号
US4998179(A)
申请公布日期
1991.03.05
申请号
US19890317236
申请日期
1989.02.28
申请人
UNITED TECHNOLOGIES CORPORATION
发明人
GRANTHAM, DANIEL H.;SWINDAL, JAMES L.
分类号
G01L1/14;G01L9/00;G01L9/12;H01L29/84
主分类号
G01L1/14
代理机构
代理人
主权项
地址
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