发明名称 MANUFACTURE OF SEMICONDUCTOR INTEGRATED CIRCUIT
摘要
申请公布号 JPH0349228(A) 申请公布日期 1991.03.04
申请号 JP19890185102 申请日期 1989.07.18
申请人 FUJI ELECTRIC CO LTD 发明人 SAKAI YOSHIYUKI
分类号 H01L21/3205 主分类号 H01L21/3205
代理机构 代理人
主权项
地址