发明名称 DEVICE FOR GROWING CRYSTAL
摘要
申请公布号 JPH0350179(A) 申请公布日期 1991.03.04
申请号 JP19890184501 申请日期 1989.07.19
申请人 NEC CORP 发明人 KAKIMOTO KOICHI
分类号 C30B15/14;C30B30/04;H01L21/208 主分类号 C30B15/14
代理机构 代理人
主权项
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