发明名称 PRODUCTION OF THIN SILICON DIOXIDE FILM CONTAINING ORGANIC SUBSTANCE
摘要
申请公布号 JPH0350111(A) 申请公布日期 1991.03.04
申请号 JP19900074623 申请日期 1990.03.24
申请人 NIPPON SHEET GLASS CO LTD 发明人 TAKEMURA KAZUO;INO JUICHI;KAWAHARA HIDEO
分类号 C01B33/12;C03C17/25 主分类号 C01B33/12
代理机构 代理人
主权项
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