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发明名称 MANUFACTURE OF SEMICONDUCTOR DEVICE
摘要
申请公布号 JPH0349252(A) 申请公布日期 1991.03.04
申请号 JP19890184187 申请日期 1989.07.17
申请人 FUJITSU LTD 发明人 INOUE KENICHI
分类号 H01L21/768 主分类号 H01L21/768
代理机构 代理人
主权项
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