发明名称 SEMICONDUCTOR DEVICE
摘要
申请公布号 JPH0348442(A) 申请公布日期 1991.03.01
申请号 JP19900077470 申请日期 1990.03.26
申请人 MITSUBISHI ELECTRIC CORP 发明人 KIMURA HIROTSUGU;MUKAI TAKAO;MATSUDA SHUICHI;KONO YOSHIO
分类号 H01L21/76;H01L21/265;H01L29/78 主分类号 H01L21/76
代理机构 代理人
主权项
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