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经营范围
发明名称
INSPECTION OF DEFECTIVE PATTERN
摘要
申请公布号
JPH0348437(A)
申请公布日期
1991.03.01
申请号
JP19890184089
申请日期
1989.07.17
申请人
MATSUSHITA ELECTRIC IND CO LTD
发明人
SHITSUPOU OSAMU
分类号
H01L21/66
主分类号
H01L21/66
代理机构
代理人
主权项
地址
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