发明名称 INSPECTION OF DEFECTIVE PATTERN
摘要
申请公布号 JPH0348437(A) 申请公布日期 1991.03.01
申请号 JP19890184089 申请日期 1989.07.17
申请人 MATSUSHITA ELECTRIC IND CO LTD 发明人 SHITSUPOU OSAMU
分类号 H01L21/66 主分类号 H01L21/66
代理机构 代理人
主权项
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