| 发明名称 |
METHOD AND SYSTEM FOR CONTROLLING PRODUCTION OF THIN FILM AND METHOD AND SYSTEM FOR EXPOSURE |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
JPH0348419(A) |
申请公布日期 |
1991.03.01 |
| 申请号 |
JP19900096443 |
申请日期 |
1990.04.13 |
| 申请人 |
HITACHI LTD |
发明人 |
NAKAYAMA YASUHIKO;SHIBA MASATAKA;KOMORIYA SUSUMU |
| 分类号 |
G03F7/20;H01L21/027;H01L21/30 |
主分类号 |
G03F7/20 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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