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发明名称
A METHOD OF SELECTION OF SILICEOUS PLATES IN THE TECHNOLOGY OF SEMICONDUCTOR DEVICES
摘要
申请公布号
PL152884(B1)
申请公布日期
1991.02.28
申请号
PL19860262068
申请日期
1986.10.27
申请人
发明人
分类号
G01R31/26;H01L;(IPC1-7):G01R31/26
主分类号
G01R31/26
代理机构
代理人
主权项
地址
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