光接收元件

摘要

一种光接收元件，它包括基底和多层结构的光接收层。该多层结构至少有一层由非晶硅组成的光敏层或者有光敏层和表面层。上述基底有一个由球形凹痕组成的不规则表面，每个凹痕都有微小的不规则内表面。在光接收层内，表面层具有的光带隙和被表面层覆盖的光敏层具有的光带隙在二者界面上直接匹配。该表面层由包括抗磨层和防反射层的多层结构组成。

主权项

1、一种光接收元件，它包括支承体和位于所述支承体表面上的光接收层，所述光接收层具有至少有一层光敏层的多层结构，该光敏层由一种包含硅原子和从氧原子，碳原子和氮原子中选择的至少一种原子的无定形材料构成的，其特征在于上述支承体具有由许多球形凹痕组成的不规则表面，每个这样的球形凹痕都有微小的不规则的内表面。