| 发明名称 |
A DEVICE FOR ENERGY FILTERING AN IMAGING BEAM OF CHARGED PARTICLES |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
GB9028049(D0) |
申请公布日期 |
1991.02.27 |
| 申请号 |
GB19900028049 |
申请日期 |
1990.12.21 |
| 申请人 |
KRATOS ANALYTICAL LIMITED |
发明人 |
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| 分类号 |
G01Q30/02;H01J37/05;H01J49/26;H01J49/46 |
主分类号 |
G01Q30/02 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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