发明名称 |
CRYSTAL GROWTH OF SEMICONDUCTOR DEVICE |
摘要 |
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申请公布号 |
JPH0345600(A) |
申请公布日期 |
1991.02.27 |
申请号 |
JP19890178063 |
申请日期 |
1989.07.12 |
申请人 |
MATSUSHITA ELECTRIC IND CO LTD |
发明人 |
MATSUNO TOSHINOBU;INOUE KAORU;JIEI SHII ARUMAN |
分类号 |
C30B23/08;C30B29/40;H01L21/20;H01L21/338;H01L29/201;H01L29/778;H01L29/80;H01L29/812 |
主分类号 |
C30B23/08 |
代理机构 |
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代理人 |
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主权项 |
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地址 |
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