发明名称 CRYSTAL GROWTH OF SEMICONDUCTOR DEVICE
摘要
申请公布号 JPH0345600(A) 申请公布日期 1991.02.27
申请号 JP19890178063 申请日期 1989.07.12
申请人 MATSUSHITA ELECTRIC IND CO LTD 发明人 MATSUNO TOSHINOBU;INOUE KAORU;JIEI SHII ARUMAN
分类号 C30B23/08;C30B29/40;H01L21/20;H01L21/338;H01L29/201;H01L29/778;H01L29/80;H01L29/812 主分类号 C30B23/08
代理机构 代理人
主权项
地址