具有带球形凹痕的基底、非晶硅(锗、锡)光敏层和非晶硅(氧、碳、氮)表面层的光接收元件

摘要

光接收元件的光敏层由含硅原子及含锗、锡原子中至少一种原子的非晶材料构成，表面层由含硅原子及含氧、碳、氮原子中至少一种原子的非晶材料构成，基底表面由具有微小不平整内表面的球形凹痕构成，光频带隙匹配在光敏层和表面层之间的界面上。该光接收元件解决了所有用非晶硅制成光接收层的传统元件中的问题，特别是有效地防止了由干涉现象在图像中引起的干涉条纹，即使用可能产生干涉的相干激光束作光源，也能形成高质量图像。

主权项

1、一种光接收元件，它包括一个基底和置于所述基底表面上的一层光接收层，所述光接收层由一层光敏层和一层具有自由表面的表面层组成，所述光敏层由含有硅原子并且含有从锗原子和锡原子中选出的至少一种原子的非晶材料构成，并且所述表面层由含有硅原子并且含有从氧原子、碳原子和氮原子中选出的至少一种原子的非晶材料构成，其特征在于：所述基底具有由球形凹痕构成的不平整表面，每个凹痕又具有微小不平整的内表面；所述表面层既不含锗原子也不含锡原子；表面层所具有的光频带隙和被表面层覆盖的光敏层所具有的光频带隙在表面层与光敏层之间的界面上匹配。