| 发明名称 |
LITHOGRAPHIC TECHNIQUE USING LASER FOR FABRICATION OF ELECTRONIC COMPONENTS AND THE LIKE |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
EP0256938(A3) |
申请公布日期 |
1991.02.27 |
| 申请号 |
EP19870401844 |
申请日期 |
1987.08.07 |
| 申请人 |
DIGITAL EQUIPMENT CORPORATION |
发明人 |
DAS, SHYAM |
| 分类号 |
C23F4/04;C23F1/02;G03F7/004;G03F7/20;G11B5/127;H01F41/34;H01L21/027;H01L21/30;H01L21/302;(IPC1-7):G03F7/02;H01F41/14 |
主分类号 |
C23F4/04 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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