| 发明名称 |
UNIFORM CROSS SECTION ION BEAM SYSTEM |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
EP0377298(A3) |
申请公布日期 |
1991.02.27 |
| 申请号 |
EP19890313242 |
申请日期 |
1989.12.18 |
| 申请人 |
EATON CORPORATION |
发明人 |
BENVENISTE, VICTOR MAURICE;BOISSEAU, RAYMOND PAUL |
| 分类号 |
H01J37/317;H01L21/265;(IPC1-7):H01J37/30 |
主分类号 |
H01J37/317 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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