FLOW VELOCITY MEASURING DEVICE,申请号JP19890181774-传众专利搜索

发明名称	FLOW VELOCITY MEASURING DEVICE
摘要
申请公布号	JPH0346518(A)	申请公布日期	1991.02.27
申请号	JP19890181774	申请日期	1989.07.14
申请人	TOKYO ELECTRON LTD;TOKYO EREKUTORON KYUSHU KK	发明人	MATSUMURA KIMIHARU;SAKAI HIROYUKI
分类号	G01F1/68;B05C11/08;G01F13/00;H01L21/027	主分类号	G01F1/68
代理机构		代理人
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