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发明名称 PLASMA PROCESSING METHOD AND APPARATUS
摘要
申请公布号 EP0210605(B1) 申请公布日期 1991.02.27
申请号 EP19860110241 申请日期 1986.07.25
申请人 TEXAS INSTRUMENTS INCORPORATED 发明人 WOOLDRIDGE, TIMOTHY A.;BONIFIELD, THOMAS D.;ABERNATHY, JOE V.;DAVIS, CECIL J.;JUCHA, RHETT B.
分类号 H01L21/302;H01J37/32;H01L21/3065 主分类号 H01L21/302
代理机构 代理人
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