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发明名称 HORIZONTAL TYPE FURNACE FOR SEMICONDUCTOR TREATMENT
摘要
申请公布号 JPH0346234(A) 申请公布日期 1991.02.27
申请号 JP19890181391 申请日期 1989.07.13
申请人 SUMITOMO ELECTRIC IND LTD 发明人 KIYAMA MAKOTO;TAKEBE TOSHIHIKO
分类号 H01L21/205;H01L21/324 主分类号 H01L21/205
代理机构 代理人
主权项
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