| 发明名称 |
PREPARATION OF DIAMOND-LIKE THIN FILM |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
JPH0345597(A) |
申请公布日期 |
1991.02.27 |
| 申请号 |
JP19890180391 |
申请日期 |
1989.07.14 |
| 申请人 |
TDK CORP |
发明人 |
SHIBAHARA MASANORI;NAKAYAMA MASATOSHI;UEDA KUNIHIRO |
| 分类号 |
C30B29/04;C23C16/26;C23C16/27 |
主分类号 |
C30B29/04 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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