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发明名称 MANUFACTURE OF SEMICONDUCTOR DEVICE
摘要
申请公布号 JPH0346326(A) 申请公布日期 1991.02.27
申请号 JP19890181974 申请日期 1989.07.14
申请人 SEIKO EPSON CORP 发明人 YANAI MASAHARU
分类号 H01L21/302;H01L21/3065 主分类号 H01L21/302
代理机构 代理人
主权项
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