CHARGED PARTICLE BEAM EXPOSURE DEVICE,申请号JP19890183085-传众专利搜索

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法人/股东/高管

发明名称	CHARGED PARTICLE BEAM EXPOSURE DEVICE
摘要
申请公布号	JPH0346221(A)	申请公布日期	1991.02.27
申请号	JP19890183085	申请日期	1989.07.13
申请人	FUJITSU LTD	发明人	SAKAMOTO JUICHI
分类号	H01J37/20;H01J37/317;H01L21/027	主分类号	H01J37/20
代理机构		代理人
主权项
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