发明名称 PROCESSOR UTILIZING HIGH FREQUENCY DISCHARGE
摘要
申请公布号 JPH0344924(A) 申请公布日期 1991.02.26
申请号 JP19890181012 申请日期 1989.07.12
申请人 MITSUBISHI ELECTRIC CORP 发明人 ONO KAZUKIYO
分类号 H01L21/302;H01L21/3065;H01L21/31 主分类号 H01L21/302
代理机构 代理人
主权项
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