| 发明名称 |
CHECKING METHOD AND APPARATUS OF PHOTO MASK |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
KR910001247(B1) |
申请公布日期 |
1991.02.26 |
| 申请号 |
KR19840005630 |
申请日期 |
1984.09.15 |
| 申请人 |
FUJITSU CO.,LTD. |
发明人 |
GOBAYASI DAKAYOSI;MATSUYAMA DAKAYOSHI |
| 分类号 |
G01B11/24;G01B11/30;G01N21/956;G06T7/00;(IPC1-7):G01B11/30 |
主分类号 |
G01B11/24 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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