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经营范围
发明名称
FORMATION OF THIN FILM
摘要
申请公布号
JPH0344458(A)
申请公布日期
1991.02.26
申请号
JP19890179524
申请日期
1989.07.12
申请人
CLARION CO LTD
发明人
NAKABACHI YOSHIKI;KOJIMA KIYOAKI
分类号
H05B33/10;C23C14/06;C23C14/30;H01L21/363
主分类号
H05B33/10
代理机构
代理人
主权项
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