发明名称 THIN FILM FORMING DEVICE
摘要
申请公布号 JPH0344466(A) 申请公布日期 1991.02.26
申请号 JP19890179607 申请日期 1989.07.11
申请人 MATSUSHITA ELECTRIC IND CO LTD 发明人 YOKOYAMA MASAHIDE;SUEMITSU TOSHIYUKI;KAWA HIDETOSHI
分类号 C23C14/34 主分类号 C23C14/34
代理机构 代理人
主权项
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