发明名称 |
Effective near neutral pH etching solution for molybdenum or tungsten |
摘要 |
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申请公布号 |
US4995942(A) |
申请公布日期 |
1991.02.26 |
申请号 |
US19900516845 |
申请日期 |
1990.04.30 |
申请人 |
INTERNATIONAL BUSINESS MACHINES CORPORATION |
发明人 |
DAVID, LAWRENCE D. |
分类号 |
C23F1/26;C23F1/14;C23F1/38;C23F1/46 |
主分类号 |
C23F1/26 |
代理机构 |
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代理人 |
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主权项 |
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地址 |
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