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经营范围
发明名称
BONDING METHOD
摘要
申请公布号
JPH0344041(A)
申请公布日期
1991.02.25
申请号
JP19890178020
申请日期
1989.07.12
申请人
SHINKAWA LTD;HITACHI LTD
发明人
BANDO AKIO;ZUSHI HISASHI;OKAMOTO MICHIO;NAKANISHI MASAKI
分类号
H01L21/52;H01L21/60
主分类号
H01L21/52
代理机构
代理人
主权项
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