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发明名称 MANUFACTURE OF SEMICONDUCTOR DEVICE
摘要
申请公布号 JPH0342843(A) 申请公布日期 1991.02.25
申请号 JP19890177175 申请日期 1989.07.11
申请人 OKI ELECTRIC IND CO LTD 发明人 TOKUYAMA YOSHIHIRO
分类号 H01L21/336;H01L29/423;H01L29/43;H01L29/49;H01L29/78 主分类号 H01L21/336
代理机构 代理人
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