发明名称
摘要
申请公布号 JPH037405(Y2) 申请公布日期 1991.02.25
申请号 JP19850032474U 申请日期 1985.03.06
申请人 发明人
分类号 C30B15/10;C30B15/14;H01L21/208;(IPC1-7):C30B15/10 主分类号 C30B15/10
代理机构 代理人
主权项
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