发明名称 VERTICAL TYPE VAPOR GROWTH APPARATUS
摘要
申请公布号 JPH0341724(A) 申请公布日期 1991.02.22
申请号 JP19890177422 申请日期 1989.07.10
申请人 SUMITOMO ELECTRIC IND LTD 发明人 DOI HIDEYUKI;KOUKADO KOUICHI
分类号 H01L21/205 主分类号 H01L21/205
代理机构 代理人
主权项
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