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经营范围
发明名称
VERTICAL TYPE VAPOR GROWTH APPARATUS
摘要
申请公布号
JPH0341724(A)
申请公布日期
1991.02.22
申请号
JP19890177422
申请日期
1989.07.10
申请人
SUMITOMO ELECTRIC IND LTD
发明人
DOI HIDEYUKI;KOUKADO KOUICHI
分类号
H01L21/205
主分类号
H01L21/205
代理机构
代理人
主权项
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