发明名称 MANUFACTURE OF SEMICONDUCTOR DEVICE
摘要
申请公布号 JPH0341716(A) 申请公布日期 1991.02.22
申请号 JP19890176814 申请日期 1989.07.07
申请人 FUJITSU LTD 发明人 TANAKA KOJI
分类号 H01L21/027 主分类号 H01L21/027
代理机构 代理人
主权项
地址