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发明名称
SPIN COATER
摘要
申请公布号
JPH0341715(A)
申请公布日期
1991.02.22
申请号
JP19890176485
申请日期
1989.07.07
申请人
TOSHIBA CERAMICS CO LTD
发明人
KANESHIGE MIEKO;MIYAMOTO TOSHIKAZU
分类号
G03F7/16;B05C11/08;H01L21/027
主分类号
G03F7/16
代理机构
代理人
主权项
地址
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