发明名称 VERFAHREN ZUM BESCHICHTEN EINES DIELEKTRISCHEN SUBSTRATS MIT KUPFER
摘要
申请公布号 DE3926877(A1) 申请公布日期 1991.02.21
申请号 DE19893926877 申请日期 1989.08.16
申请人 LEYBOLD AG, 6450 HANAU, DE 发明人 LUDWIG, RAINER, DR., 8757 KARLSTEIN, DE;ADAM, ROLF, 6450 HANAU, DE;DIETRICH, ANTON, DR., TRIESEN, LI;KUKLA, REINER, 6450 HANAU, DE
分类号 C23C14/14;C23C14/02;C23C14/08;C23C14/18;C23C14/34;C23C14/35;H05K3/16;H05K3/38 主分类号 C23C14/14
代理机构 代理人
主权项
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