VIEWING SYSTEM FOR SURFACE PROFILER

摘要

L'invention se rapporte à une fraiseuse à profiler avec prévisualisation (44), qui comprend un appareil (10) servant à balayer une surface (28) et à afficher une image se rapportant au poli de la surface (28) à un niveau microscopique. La système (44) comprend un laser (12) produisant un faisceau laser colimaté polarisé (14) à travers un prisme de Nomarski (22) et focalisant les faisceaux ainsi produits (24) sur la surface (28) balayée, ainsi qu'un miroir fuyant rotatif (46) actionnable par l'utilisateur et pouvant être introduit, sur ordre de l'opérateur, entre le laser (12) et le prisme de Nomarski (22). Une autre source (48) de lumière est produite à travers une lentille de type condensateur (50) en direction du miroir rotatif (48) et focalisée sur un point situé sous la surface (28) balayée, ce qui permet de former une zone éclairée sensiblement plus grande (42) sur la surface (28). La lumière réfléchie à la fois du faisceau laser (14 et 24) et de la source supplémentaire de lumière (56) est focalisée sur un réseau CCD (dispositif à couplage de charge) (64) et est ensuite affichée sur un écran d'affichage (66). L'utilisateur peut ainsi visualiser la zone (42) à profiler, y compris les contours de profil (40), avant l'actionnement de la fraiseuse à profiler (44).