| 发明名称 |
SYNTHETIC QUARTZ GLASS MEMBER HAVING EXCELLENT HEAT RESISTANCE AND WORKABILITY |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
JPH0340929(A) |
申请公布日期 |
1991.02.21 |
| 申请号 |
JP19890175197 |
申请日期 |
1989.07.06 |
| 申请人 |
SHINETSU SEKIEI KK |
发明人 |
FUJINOKI AKIRA;KATO TOSHIYUKI;NISHIMURA HIROYUKI;RAINHORUDO HAINRITSUHI YUUBINGU |
| 分类号 |
C03B8/04;C03B19/14;C03B20/00;H01L21/22 |
主分类号 |
C03B8/04 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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