SUBSTRATE CLEANING DEVICE,申请号JP19890175863-传众专利搜索

发明名称	SUBSTRATE CLEANING DEVICE
摘要
申请公布号	JPH0340428(A)	申请公布日期	1991.02.21
申请号	JP19890175863	申请日期	1989.07.07
申请人	MATSUSHITA ELECTRIC IND CO LTD	发明人	DANSUI YOSHITAKA;AOI NOBUO
分类号	H01L21/304	主分类号	H01L21/304
代理机构		代理人
主权项
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