发明名称 BORON DIFFUSION METHOD
摘要
申请公布号 JPH0340426(A) 申请公布日期 1991.02.21
申请号 JP19890175942 申请日期 1989.07.07
申请人 FUJI ELECTRIC CO LTD 发明人 KANEDA HIROKAZU;ABE KOJI
分类号 H01L21/223;H01L21/22 主分类号 H01L21/223
代理机构 代理人
主权项
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