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发明名称 VERFAHREN UND VORRICHTUNG FUER DURCH BESTRAHLUNG INDUZIERTES CHEMISCHES TROCKENAETZEN.
摘要
申请公布号 DE3767436(D1) 申请公布日期 1991.02.21
申请号 DE19873767436 申请日期 1987.10.13
申请人 INTERNATIONAL BUSINESS MACHINES CORP., ARMONK, N.Y., US 发明人 BURNS, FRANCIS CHARLES, ENDICOTT, N.Y. 13 760, US;DREYFUS, RUSSEL WARREN, MT. KISCO, N.Y. 10 549, US;SUSKO, JOHN RICHARD, OWEGO, N.Y. 13 827, US
分类号 H01L21/302;C23F1/12;C23F4/02;H01L21/3065;(IPC1-7):C23F1/02;C23F1/08;C23F4/00 主分类号 H01L21/302
代理机构 代理人
主权项
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