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发明名称
Ion beam source
摘要
申请公布号
GB2235086(A)
申请公布日期
1991.02.20
申请号
GB19890012569
申请日期
1989.06.01
申请人
* ION TECH LIMITED
发明人
ANTHONY CYRIL * EVANS
分类号
H01J27/16
主分类号
H01J27/16
代理机构
代理人
主权项
地址
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