发明名称 Ion beam source
摘要
申请公布号 GB2235086(A) 申请公布日期 1991.02.20
申请号 GB19890012569 申请日期 1989.06.01
申请人 * ION TECH LIMITED 发明人 ANTHONY CYRIL * EVANS
分类号 H01J27/16 主分类号 H01J27/16
代理机构 代理人
主权项
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