| 发明名称 |
METHOD FOR STRENGTHENING FORMED OXIDIZED FILM IN PLASMA CVD DEVICE |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
JPH0339475(A) |
申请公布日期 |
1991.02.20 |
| 申请号 |
JP19890173491 |
申请日期 |
1989.07.05 |
| 申请人 |
HITACHI ELECTRON ENG CO LTD |
发明人 |
OYAMA KATSUMI;HIKIMA HITOSHI |
| 分类号 |
C23C16/40;C23C16/50;C23C16/56;H01L21/316 |
主分类号 |
C23C16/40 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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