DETECTING DEVICE FOR DEFECT,申请号JP19890176639-传众专利搜索

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发明名称	DETECTING DEVICE FOR DEFECT
摘要
申请公布号	JPH0339642(A)	申请公布日期	1991.02.20
申请号	JP19890176639	申请日期	1989.07.06
申请人	FUJITSU LTD	发明人	FUJIWARA KATSUMI
分类号	G01N21/88;G01N21/956;H01L21/66;H05K3/00	主分类号	G01N21/88
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